第一百五十五章：光源与波澜

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怎么样？”他问道。

　　李由皱了皱眉，“还不是很顺利，当初我们学的是采用  248nm  的  KrF准分子激光作为光源的第三代光刻机和采用了  193nm  的  ArF准分子激光，的第四代光刻机。

　　所以光源上的理论还有所生疏，而且德国那边的仪器，他们给的不是最先进的那一款，还有储存环，我们国内的不是很……。”

　　顾青表示理解，叹了口气道：“这很正常，要达到国际先进水平不容易，但是我们还有一个研究部门正在进行改造，不论是仪器和储存环，这个月底就会给你们。

　　ASML1公司采用的是高能脉冲激光轰击液态锡靶，形成等离子体然后产生波长13.5纳米的EUV光源，功率约250瓦。

　　随着芯片工艺节点的不断缩小，对EUV光源功率的要求也将不断提升，估计会达到千瓦量级。

　　而基于SS1MB的EUV光源有望实现更大的平均功率，并具备向更短波长扩展的潜力，所以咱们这个SS1MB光源的前景是可以确定的。

　　你们别慌，前期的理论功课做好了，下个月的落地实验才会走得稳。”

　　李由点头笑了笑，“我知道，我们这边的研发人员每天都在生产工作完成后加班学习，咱们自己人干活，不需要看外人的表情，所以大家的动力都很足。”

　　顾青本来还想再聊一会儿，但是董琦的电话突然打了过来。

　　嗯，准确来说是打给半导体部门的办公室管理，然后找到的顾青。

　　顾青接过递来的电话。

　　“找我有事？”

　　“顾总，顾哥，我们的电话都快被打爆了！

　　除了合作伙伴外，还有国际组织对我们的仿生假肢技术表示感兴趣，并且想争取明天发放的一部分名额。”

　　“按照规矩来，还用我教你吗？”

　　“我知道要按照规矩来，可是美利坚方面也有高官在发声了。”

　　“他们发声管的到我们什么事？

　　你和老黄最近就不要出国了，留意下安全，明天的名额还是交给我们公司的系统处理。”
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